Catu daya RF seri RHH mengandalkan teknologi pembangkitan RF yang matang untuk menyediakan catu daya RF kepada pelanggan dengan daya lebih besar, presisi lebih tinggi, dan respons cepat.Dengan fase dapat diatur, pulsa dapat dikontrol, penyetelan digital dan fungsi lainnya.Bidang yang berlaku: industri fotovoltaik, industri tampilan panel datar, industri semikonduktor, industri kimia, laboratorium, penelitian ilmiah, manufaktur, dll.
Proses yang berlaku: deposisi uap kimia yang ditingkatkan plasma (PECVD), etsa plasma, pembersihan plasma, sumber ion frekuensi radio, difusi plasma, sputtering polimerisasi plasma, sputtering reaktif, dll.